倍晶新资料请求含DNQ的双感光光刻胶资料及其制备办法与使用专利提高抗蚀剂的溶解特性和热稳定性

发布时间:2025-05-09 02:41:09   来源:LDSports综合体育    阅读:1 次

  金融界2024年12月26日音讯,国家知识产权局信息数据显现,倍晶新资料(山东)有限公司请求一项名为“含DNQ的双感光光刻胶资料及其制备办法与使用”的专利,公开号CN 119179231 A,请求日期为2024年10月。

  专利摘要显现,本发明公开了一种含DNQ的双感光功能性光刻胶资料及其制备办法与使用,归于光刻资料技术领域,其制备办法以磺酰氯、乙烯基为改性资料,并以二碳酸二叔丁酯作为化学扩大剂,经过自由基溶液聚合对树脂进行润饰改性。本发明还公开了上述制备办法制备得到的含DNQ的双感光功能性光刻胶资料及其在光刻胶系统中的使用。本发明的含DNQ的双感光光刻胶资料显现出优秀分辨率,具有十分杰出的耐酸性和涂布均匀性,在坚持单体敏化剂功能特性的一起,还提高了抗蚀剂的溶解特性和热稳定性,在G线和I线领域内产品产业化出产方面具有优异的光化学功能,可大规模的使用在电路封装、印刷电路和集成电路的制作以及半导体分立器材的微细加工等进程。

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